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日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541

日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541

產品型號:

所屬分類:位移計

產品時間:2020-11-03

簡要描述:日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541
ST-3541采用“無源型",探頭中沒有內置電路。因此,穩定性大大提高。此外,由于沒有電路部件,因此緊湊且具有用于結合的z佳結構。
它是納米位移測量,精密工作臺位置檢測/姿態控制,平面度和厚度測量的理想選擇。

詳細說明:

日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541

ST-3541采用“無源型”,探頭中沒有內置電路。因此,穩定性大大提高。此外,由于沒有電路部件,因此緊湊且具有用于結合的z佳結構。
它是納米位移測量,精密工作臺位置檢測/姿態控制,平面度和厚度測量的理想選擇。

特征

出色的高穩定性

下圖是在25測量在恒溫浴組穩定性的一例℃。
您可以看到已經進行了12小時的長時間穩定測量。

[圖] ST-3541 + ST-0403-100穩定性數據

實現高分辨率測量

大分辨率0.3nm-rms下
圖顯示了由步進電信號驅動的壓電元件的位移。
即使只有1 nm的小步進信號,也可以很好地檢查響應。

  • 1nm步進
    波形:頻率0.15Hz步進寬度1nm。
    頻段設定:100Hz

優異的線性度0.05%

通過使用不需要線性化器的測量方法,可以實現出色的線性度。


  • 較小的探頭使安裝更容易由于探頭主體沒有內置電路,因此尺寸已大大減小。
    這大大擴展了結合到測量系統中的自由度。
  • 使用的連接電纜,可以
    在通道之間進行同步操作。即使使用多臺設備,也可以通過連接通道進行同步操作。同步操作可防止通道之間的干擾并穩定測量結果。
  • 您可以減少系統構建的成本。
    當使用多個通道時,只有通過按需供電才可以擴展,因此可以降低系統構建成本。

可以在真空中進行測量

通過使用與真空兼容的定制探頭,可以測量真空中的位移。

[圖]自定義真空探針

日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541

應用領域

  • 精密定位,位置檢測,半導體的姿態控制,精密處理,顯微鏡等
  • 壓電元件的振動和振幅測量等
  • 硅片,金屬板,精密加工零件等的平面度和厚度測量
  • 測量軸跳動,表面跳動和精密電機的圓度等
  • 納米位移測量


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