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日本ace半導體自動調節壓力控制器

日本ace半導體自動調節壓力控制器

產品型號: AP160M

所屬分類:壓力控制器

產品時間:2021-05-06

簡要描述:日本ace半導體自動調節壓力控制器AP160M
AP160M是一種控制器,可根據半導體制造過程中使用的氣體,通過自動控制比例電磁閥的開度來自動調節管道中的壓力。由于它具有內置壓力傳感器,因此無需添加外部傳感器。

詳細說明:

日本ace半導體自動調節壓力控制器AP160M

半導體自動調節器非常適合從低真空到高真空的真空工藝設備

AP160M是一種控制器,可根據半導體制造過程中使用的氣體,通過自動控制比例電磁閥的開度來自動調節管道中的壓力。由于它具有內置壓力傳感器,因此無需添加外部傳感器。

最大控制壓力約為650kPa,最大控制流速為100kPa壓差,有兩種接觸類型,即500cc / min和3000cc / min。通過通過脈沖寬度調制來控制比例電磁閥,AP160M模型可以提高響應度并消除滯后現象,因此可以在大約1秒鐘內達到設定壓力。

壓力b型接頭是1/4“ VCR等效產品,氣體接觸部分和壓力傳感器均由金屬制成,并且與惰性氣體,腐蝕性氣體,危險氣體等所有氣體兼容。除了半導體工藝氣體以外,也是可能的。

日本ace半導體自動調節壓力控制器AP160M

規格

模型AP160M
主要用途對于半導體
目標氣體半導體工藝氣體就座氣體
入口壓力500kPa以下
耐壓小于1000kPa
壓力設定需要計算機等輸入的壓力設定值
控制方式比例電磁紙漿批發
控制壓力0-500kPa
最大流量當壓差為100 kPa時,有兩種類型,即500 cc / min和3000 cc / min。
響應時間1秒鐘達到設定值
輸入信號0 ?? 5VDC連續/關閉
R485
外部傳感器輸入(4 ?? 20A可能)
輸出信號報警輸出RS485.0-5VDC
管件1/4〃VCR等效
閥座泄漏10-6Pa ? m3 /秒以下
準確性±5kPa(在800kPaFS時)
電源電壓24VDC±10%
目前的消費200mA以下
工作溫度0-50℃無凝結
面之間的外部尺寸寬36×深46×高60mm
壓力傳感器是(內置)
顯示設定裝置沒有裝備

 

 


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