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日本ace適用于半導體制造工藝的壓力控制器

日本ace適用于半導體制造工藝的壓力控制器

產品型號: AP250 / AP500

所屬分類:壓力控制器

產品時間:2021-05-06

簡要描述:日本ace適用于半導體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500
AP250和AP500是適用于半導體制造工藝等中使用的清潔氣體壓力控制的大流量型控制器,由氣壓控制單元(相當于AP100N)和圓頂型調節器單元組成。

詳細說明:

日本ace適用于半導體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500

 

AP250和AP500是適用于半導體制造工藝等中使用的清潔氣體壓力控制的大流量型控制器,由氣壓控制單元(相當于AP100N)和圓頂型調節器單元組成。

 

 此外,外部安裝有壓力傳感器,來自傳感器的信號輸入到氣壓控制單元,氣壓控制組的閥被開/關控制,以調節調節器中球罩的內部壓力自動調節以匹配任何設定的壓力值。通過將流量傳感器安裝到外部,它也可以用作流量控制器。

 

 AP250的最大控制流量為5001 / min,AP500的最大控制流量為2000L / min,兩種類型的最大控制壓力約為600kPa。

 

 壓力接頭與適用于AP250的1/2“ VCR和適用于AP500的3/4” SWAG等效或等同于用于AP500的3/4“ VCR等效。適用于真空清潔氣體,用于導體,惰性氣體,腐蝕性氣體,危險氣體等可以使用。

日本ace適用于半導體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500

規格

模型AP250AP500
主要用途對于FPD,燃料電池對于FPD,燃料電池
目標氣體N2,空氣,H2等N2,空氣,H2等
入口壓力999kPa以下999kPa以下
耐壓小于1500kPa小于1500kPa
壓力設定用顯示設定裝置設定用顯示設定裝置設定
控制方式圓頂內部的氣動控制圓頂內部的氣動控制
控制壓力0-500kPa0-500kPa
最大流量500L /分鐘2000L /分鐘
響應時間1秒鐘達到設定值1秒鐘達到設定值
輸入信號0-5 VDC連續/關閉0-5 VDC連續/關閉
RS485RS485
外部傳感器輸入(4至20mA標準)(4至20mA標準)
輸出信號報警輸出,RS485報警輸出,RS485
管件相當于1/2英寸的VCR或相當于1/2英寸的世偉洛克相當于3/4英寸的VCR或相當于3/4英寸的世偉洛克
閥座泄漏10-5Pa ? m3 /秒以下10-5Pa ? m3 /秒以下
準確性取決于壓力傳感器的規格取決于壓力傳感器的規格
電源電壓24VDC±10%24VDC±10%
目前的消費200mA以下200mA以下
工作溫度0-50℃無凝結0-50℃無凝結
面之間的外部尺寸寬70×深145×高124mm寬80×深178×高170mm
壓力傳感器無(外部)無(外部)
顯示設定裝置是(可以單獨安裝)是(可以單獨安裝)


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